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标准号	GB/T 25755-2010	实施状态	现行
中文名称	真空技术溅射离子泵性能参数的测量
英文名称	Vacuum technology. Sputter-ion pumps. Measurement of performance characteristics
标准分类	CN 国家标准	中标分类	J78 真空技术与设备
ICS分类	23.160 真空技术	组织分类	GB 国家标准
发布日期	2010-12-23	实施日期	2011-10-01
作废日期
被以下标准替代		替代以下标准
采用标准		引用标准	GB/T 3163
纸质馆藏		馆藏位置
归口单位	全国真空技术标准化技术委员会	起草单位	北京中科科仪技术发展有限责任公司
范围	本标准规定了溅射离子泵(以下简称离子泵)性能参数的测量方法。本标准适用于名义体积流率大于10 L/s的离子泵。