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标准号	JB/T 4081-2011	实施状态	现行
中文名称	真空技术溅射离子泵
英文名称	Vacuum technology. Sputter-ion pumps
标准分类	QT 行业标准	中标分类	J78 真空技术与设备
ICS分类	23.160 真空技术	组织分类	JB 机械行业标准
发布日期	2011-12-20	实施日期	2012-04-01
作废日期
被以下标准替代		替代以下标准	JB/T 4082-1991;JB/T 4081-1991
采用标准		引用标准	GB/T 191-2008;GB/T 825-1988;GB/T 2829-2002;GB 4793.1-2007;GB 5226.1-2008;GB/T 6071-2003;GB/T 13384-2008;GB/T 22360-2008;JB/T 7673
纸质馆藏		馆藏位置
归口单位	全国真空技术标准化技术委员会	起草单位	北京中科科仪技术发展有限责任公司
范围	本标准规定了普通型式的溅射离子泵(以下简称离子泵)的型式与基本参数、要求、测量方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存及质量保证要求。本标准适用于普通型式的溅射离子泵。