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标准号	GB/T 11164-2011	实施状态	现行
中文名称	真空镀膜设备通用技术条件
英文名称	Vacuum coating plant generic specification
标准分类	CN 国家标准	中标分类	J78 真空技术与设备
ICS分类	23.160 真空技术	组织分类	GB 国家标准
发布日期	2011-11-21	实施日期	2012-06-01
作废日期
被以下标准替代		替代以下标准	GB/T 11164-1999
采用标准		引用标准	GB/T 191-2008;GB/T 3161-2007;GB 5226.1-2008;GB/T 6070-2007;GB/T 13306-2011;GB/T 13384-2008;GB/T 15945-2008;GB/T 18209.1-2010;JB/T 7673
纸质馆藏		馆藏位置
归口单位	全国真空技术标准化技术委员会	起草单位	北京北仪创新真空技术有限责任公司
范围	本标准规定了真空镀膜设备的技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输和贮存等要求。本标准适用于压力在100000/1 Pa～1000/1 Pa范围的真空蒸发类、溅射类、离子镀类真空镀膜设备(以下简称设备)。